´ÙÀ̾Ƹóµå´Â °íÀ¯ÇÑ °áÁ¤±¸Á¶·Î ÀÎÇÑ ¿ì¼öÇÑ ¹°¸®Àû Ư¼ºÀ» °¡Áö°í Àֱ⿡ »ê¾÷Àû ÀÀ¿ëÀ» À§ÇÑ °ü½ÉÀÇ ´ë»óÀÌ µÇ¾î¿ÔÀ¸¸ç, Áö³ ¹Ý¼¼±â µ¿¾È ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå¸¦ Á¦Á¶Çϱâ À§ÇØ ²÷ÀÓ¾ø´Â ³ë·ÂÀ» ¾Æ³¢Áö ¾Ê¾Ò´Ù. ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå¸¦ Á¦Á¶ÇÏ´Â ¹æ¹ý¿¡´Â Å©°Ô µÎ °¡Áö°¡ Àִµ¥ ÀϹÝÀûÀ¸·Î ¸¹ÀÌ ¾Ë·ÁÁø °í¿Â°í¾Ð(HPHT) ¹æ¹ý°ú ÃÖ±Ù¿¡ ºñ¾àÀûÀÎ ±â¼ú ¹ßÀüÀ» °¡Á®¿Â CVD¶ó ºÒ¸®¿ì´Â ÈÇбâ»óÃþÂø ¹æ¹ýÀÌ´Ù.
HPHT ÇÕ¼º ´ÙÀ̾ƸóµåÀÇ Á¦Á¶»ç
HPHT ¹æ¹ýÀ» ÀÌ¿ëÇØ Ã³À½À¸·Î »ê¾÷¿ë ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå »ý»ê¿¡ ¼º°øÇÑ °÷Àº 1953³â¿¡ ½ºÀ§½ºÀÇ Àü±âȸ»ç(SAEA)¿´À¸³ª ±× ¾÷ÀûÀ» ¾Ë¸®Áö ¾Ê¾Ò°í, ´ÙÀ½ÇØÀÎ 1954³â Á¦³Ê·² ÀÏ·ºÆ®¸¯(GE)¿¡¼ ´ÙÀ̾Ƹóµå ÇÕ¼º¿¡ ¼º°øÇßÀ½À» óÀ½À¸·Î °øÆ÷ÇÏ¿´´Ù. Ãʱ⿡ ÇÕ¼ºµÈ ´ÙÀ̾Ƹóµå´Â ´ëºÎºÐ °ø¾÷¿ëÀ¸·Î »ç¿ëµÇ¾úÀ¸¸ç º¸¼®¿ëÀ¸·Î »ç¿ëµÉ ¼ö ÀÖÀ» Á¤µµÀÇ Ç°Áú¿¡ ¹ÌÄ¡Áö ¸øÇÏ¿´Áö¸¸ ÃÖ±Ù¿¡´Â ÇÕ¼º ±â¼úÀÇ ±Þ°ÝÇÑ ¹ßÀüÀ¸·Î ÀÎÇØ ´Ù¾çÇÑ »öÀÇ °íÇ°Áú ´ÙÀ̾Ƹóµå°¡ ÁÖ¾ó¸® ½ÃÀå¿¡¼ ÆǷθ¦ ã°í ÀÖ´Ù. ÇöÀç AOTC, Sumitomo, Chatam, Gemesis(ÇöÀç ¥±a Technologies) µîÀÇ È¸»ç¿¡¼ 1~3ij·µÀÇ º¸¼®¿ë ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå°¡ »ý»êµÇ°í ÀÖÀ¸¸ç, ÀÌ ¿Ü¿¡ Áß±¹, µ¶ÀÏ, ·¯½Ã¾Æ, Àεµ, ¿ìÅ©¶óÀ̳ª, ¹Ì±¹, ´ë¸¸ µîÀÇ ¾Ë·ÁÁöÁö ¾ÊÀº °÷¿¡¼µµ ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå°¡ Á¦Á¶µÇ°í ÀÖ´Ù.
HPHT ¹æ¹ýÀ» ÀÌ¿ëÇØ Ã³À½À¸·Î »ê¾÷¿ë ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå »ý»ê¿¡ ¼º°øÇÑ °÷Àº 1953³â¿¡ ½ºÀ§½ºÀÇ Àü±âȸ»ç(SAEA)¿´À¸³ª ±× ¾÷ÀûÀ» ¾Ë¸®Áö ¾Ê¾Ò°í, ´ÙÀ½ÇØÀÎ 1954³â Á¦³Ê·² ÀÏ·ºÆ®¸¯(GE)¿¡¼ ´ÙÀ̾Ƹóµå ÇÕ¼º¿¡ ¼º°øÇßÀ½À» óÀ½À¸·Î °øÆ÷ÇÏ¿´´Ù. Ãʱ⿡ ÇÕ¼ºµÈ ´ÙÀ̾Ƹóµå´Â ´ëºÎºÐ °ø¾÷¿ëÀ¸·Î »ç¿ëµÇ¾úÀ¸¸ç º¸¼®¿ëÀ¸·Î »ç¿ëµÉ ¼ö ÀÖÀ» Á¤µµÀÇ Ç°Áú¿¡ ¹ÌÄ¡Áö ¸øÇÏ¿´Áö¸¸ ÃÖ±Ù¿¡´Â ÇÕ¼º ±â¼úÀÇ ±Þ°ÝÇÑ ¹ßÀüÀ¸·Î ÀÎÇØ ´Ù¾çÇÑ »öÀÇ °íÇ°Áú ´ÙÀ̾Ƹóµå°¡ ÁÖ¾ó¸® ½ÃÀå¿¡¼ ÆǷθ¦ ã°í ÀÖ´Ù. ÇöÀç AOTC, Sumitomo, Chatam, Gemesis(ÇöÀç ¥±a Technologies) µîÀÇ È¸»ç¿¡¼ 1~3ij·µÀÇ º¸¼®¿ë ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå°¡ »ý»êµÇ°í ÀÖÀ¸¸ç, ÀÌ ¿Ü¿¡ Áß±¹, µ¶ÀÏ, ·¯½Ã¾Æ, Àεµ, ¿ìÅ©¶óÀ̳ª, ¹Ì±¹, ´ë¸¸ µîÀÇ ¾Ë·ÁÁöÁö ¾ÊÀº °÷¿¡¼µµ ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå°¡ Á¦Á¶µÇ°í ÀÖ´Ù.
CVD ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå Á¦Á¶»ç
HPHT ¹æ¹ý°ú´Â ´Ù¸¥ ¹æ¹ýÀÎ CVD ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå´Â ÇöÀç Scio Diamonds, Taidiam, Pure Grown Diamonds, Washington Diamonds µîÀÇ È¸»ç¿¡¼ »ý»êÇÏ°í ÀÖ´Ù. CVD ¹æ¹ýÀ¸·Î Á¦Á¶µÈ ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå´Â 2000³â´ë ÃÊ¹Ý 0.1~0.3 ij·µ Á¤µµ¿´À¸³ª 2013³â¿¡ À̸£·¯ 1~2ij·µÀÇ ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå°¡ µîÀåÇÏ¿´À¸¸ç, ÇöÀç±îÁö ¿¬¸¶µÈ º¸¼®¿ë ¹«»ö CVD ÇÕ¼º ´ÙÀ̾ƸóµåÀÇ ÃÖ´ë Å©±â´Â ¹Ì±¹ Pure Grown Diamond (±¸ Gemesis)°¡ »ý»êÇÑ 3.04ij·µÀÇ I Ä÷¯ SI1µî±Þ°ú 2015³â 9¿ù¿¡ HRD ¾ØÆ®¿öÇÁ¿¡¼ °¨º°ÇÑ 3.09ij·µÀÇ CVD ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå ÀÌ´Ù.
HPHT ¹æ¹ý°ú´Â ´Ù¸¥ ¹æ¹ýÀÎ CVD ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå´Â ÇöÀç Scio Diamonds, Taidiam, Pure Grown Diamonds, Washington Diamonds µîÀÇ È¸»ç¿¡¼ »ý»êÇÏ°í ÀÖ´Ù. CVD ¹æ¹ýÀ¸·Î Á¦Á¶µÈ ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå´Â 2000³â´ë ÃÊ¹Ý 0.1~0.3 ij·µ Á¤µµ¿´À¸³ª 2013³â¿¡ À̸£·¯ 1~2ij·µÀÇ ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå°¡ µîÀåÇÏ¿´À¸¸ç, ÇöÀç±îÁö ¿¬¸¶µÈ º¸¼®¿ë ¹«»ö CVD ÇÕ¼º ´ÙÀ̾ƸóµåÀÇ ÃÖ´ë Å©±â´Â ¹Ì±¹ Pure Grown Diamond (±¸ Gemesis)°¡ »ý»êÇÑ 3.04ij·µÀÇ I Ä÷¯ SI1µî±Þ°ú 2015³â 9¿ù¿¡ HRD ¾ØÆ®¿öÇÁ¿¡¼ °¨º°ÇÑ 3.09ij·µÀÇ CVD ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå ÀÌ´Ù.
10ij·µ ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå°¡ ±¹³» Àü½ÃÀå¿¡ µîÀå
·¯½Ã¾Æ »óÆ®ÆäÅ׸£ºÎ¸£Å©¿¡ ¼ÒÀçÇÑ New Diamond Technology(ÀÌÇÏ NDT)´Â 2015³â 3¿ù ŸÀÔ¥±aÀÇ 32.26ij·µ ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå ¿ø¼®À» ¸¸µå´Âµ¥ ¼º°øÇÏ¿´À¸¸ç, ÀÌ ÇÕ¼º ¿ø¼®Àº ¹Ì±¹ ¶ó½ºº£°¡½º ¼î¿¡¼ °ø°³µÇ¸é¼ 10.02ij·µÀÇ E Ä÷¯ VS1µî±ÞÀ¸·Î ¿¬¸¶µÇ¾ú´Ù. 10.02ij·µÀÇ ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå´Â 7¿ù ±¹³»¿¡¼ °³ÃÖµÈ 2015 Çѱ¹ÁÖ¾ó¸®Æä¾î ±â°£ Áß Àü½ÃµÇ±âµµ ÇÏ¿´´Ù.
·¯½Ã¾Æ »óÆ®ÆäÅ׸£ºÎ¸£Å©¿¡ ¼ÒÀçÇÑ New Diamond Technology(ÀÌÇÏ NDT)´Â 2015³â 3¿ù ŸÀÔ¥±aÀÇ 32.26ij·µ ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå ¿ø¼®À» ¸¸µå´Âµ¥ ¼º°øÇÏ¿´À¸¸ç, ÀÌ ÇÕ¼º ¿ø¼®Àº ¹Ì±¹ ¶ó½ºº£°¡½º ¼î¿¡¼ °ø°³µÇ¸é¼ 10.02ij·µÀÇ E Ä÷¯ VS1µî±ÞÀ¸·Î ¿¬¸¶µÇ¾ú´Ù. 10.02ij·µÀÇ ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå´Â 7¿ù ±¹³»¿¡¼ °³ÃÖµÈ 2015 Çѱ¹ÁÖ¾ó¸®Æä¾î ±â°£ Áß Àü½ÃµÇ±âµµ ÇÏ¿´´Ù.
Á¦Á¶¹æ½ÄÀº ´Ù¸£Áö¸¸ 1¿©³âÀÇ ±â°£¿¡ 3ij·µ ´ë¿¡¼ ¹«·Á 10ij·µ ´ëÀÇ ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå¸¦ Çö½Ç·Î Á¢ÇÏ°Ô µÇ¾ú´Ù´Â °Í¿¡ ´ÙÀ̾Ƹóµå ¾÷°è´Â ÀûÁö ¾Ê°Ô ¼ú··ÀÌ°í ÀÖ´Ù. ÀÌ¿¡ ¾Æ¶û°÷ÇÏÁö ¾Ê°í NDT´Â 10ij·µ ´ëÀÇ ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå¸¦ ¸¸µé¾î ³½ ±â¼úÀ» ÅëÇØ ÇâÈÄ 40~50ij·µÀÇ ´ÙÀ̾Ƹóµå¸¦ ÇÕ¼ºÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î ¿¹»óÇÏ°í ÀÖ´Ù.
¢ßÇѹ̺¸¼®°¨Á¤¿ø(¿øÀå ±è¿µÃâ ¹Ú»ç) ÷´Üº¸¼®ºÐ¼®¿¬±¸¼Ò¿¡¼´Â 10.02ij·µÀÇ ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå¿Í µ¿ÀÏÇÑ ±â¼ú°ú ¹æ¹ýÀ¸·Î Á¦Á¶µÈ NDT»çÀÇ ÇÕ¼º ´ÙÀ̾ƸóµåÀÇ º¸¼®ÇÐÀû, ºÐ±¤ÇÐÀû Ư¼ºÀ» ºÐ¼®ÇÔÀ¸·Î½á õ¿¬ ´ÙÀ̾Ƹóµå¿Í ±¸ºÐ °¡´ÉÇÑ Æ¯Â¡À» »ìÆ캸°íÀÚ ÇÑ´Ù.
4°³ÀÇ NDT ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå, ½ÇÇè Á¶°Ç
ÀÌ ¿¬±¸¸¦ À§ÇØ NDT·ÎºÎÅÍ 4°³ÀÇ ¿¬¸¶µÈ HPHT ÇÕ¼º´ÙÀ̾Ƹóµå¸¦ NDT»ç·ÎºÎÅÍ °ø±Þ¹Þ¾Ò´Ù(±×¸²3). »ùÇÃÀÇ Áß·®Àº 0.25ºÎÅÍ 0.39ij·µ±îÁö ºÐÆ÷ÇÏ¸ç ¸ðµÎ ¶ó¿îµå ºê¸±¸®¾ðÆ® ÄÆÀ¸·Î ¿¬¸¶µÇ¾ú´Ù. º¸¼®ÇÐÀû °Ë»çÀÎ Çü±¤°ú Àα¤ ¹ÝÀÀ °Ë»ç¸¦ À§ÇØ Àڿܼ± ÀåÆÄ(365nm)¿Í ´ÜÆÄ(254nm)¿¡¼ °¢°¢ ÃøÁ¤ÇÏ¿´À¸¸ç, Àü±â Àüµµ¼º Å×½ºÆ®¸¦ À§ÇØ Àü·ù°¡ È帣´Â ÆòÆòÇÑ ±Ý¼ÓÆÇ À§¿¡ »ùÇÃÀ» ³õÀº ÈÄ probe¸¦ »ùÇÃÀÇ ´Ù¾çÇÑ °÷¿¡ Á¢ÃËÇÏ¸ç ½ÇÇèÇÏ¿´´Ù. Àû¿Ü¼± ¿µ¿ªÀÇ ºÐ±¤ÇÐÀû Ư¼ºÀ» ºÐ¼®Çϱâ À§ÇØ ÁßÀû¿Ü¼±°ú ±ÙÀû¿Ü¼± ¿µ¿ª¿¡¼ ÃøÁ¤ÇÏ¿´´Ù.
ÀÌ ¿¬±¸¸¦ À§ÇØ NDT·ÎºÎÅÍ 4°³ÀÇ ¿¬¸¶µÈ HPHT ÇÕ¼º´ÙÀ̾Ƹóµå¸¦ NDT»ç·ÎºÎÅÍ °ø±Þ¹Þ¾Ò´Ù(±×¸²3). »ùÇÃÀÇ Áß·®Àº 0.25ºÎÅÍ 0.39ij·µ±îÁö ºÐÆ÷ÇÏ¸ç ¸ðµÎ ¶ó¿îµå ºê¸±¸®¾ðÆ® ÄÆÀ¸·Î ¿¬¸¶µÇ¾ú´Ù. º¸¼®ÇÐÀû °Ë»çÀÎ Çü±¤°ú Àα¤ ¹ÝÀÀ °Ë»ç¸¦ À§ÇØ Àڿܼ± ÀåÆÄ(365nm)¿Í ´ÜÆÄ(254nm)¿¡¼ °¢°¢ ÃøÁ¤ÇÏ¿´À¸¸ç, Àü±â Àüµµ¼º Å×½ºÆ®¸¦ À§ÇØ Àü·ù°¡ È帣´Â ÆòÆòÇÑ ±Ý¼ÓÆÇ À§¿¡ »ùÇÃÀ» ³õÀº ÈÄ probe¸¦ »ùÇÃÀÇ ´Ù¾çÇÑ °÷¿¡ Á¢ÃËÇÏ¸ç ½ÇÇèÇÏ¿´´Ù. Àû¿Ü¼± ¿µ¿ªÀÇ ºÐ±¤ÇÐÀû Ư¼ºÀ» ºÐ¼®Çϱâ À§ÇØ ÁßÀû¿Ü¼±°ú ±ÙÀû¿Ü¼± ¿µ¿ª¿¡¼ ÃøÁ¤ÇÏ¿´´Ù.
ÇÑÆí ´ÙÀ̾Ƹóµå ³»ÀÇ PL(Photoluminescence) Ư¼ºÀ» ºÐ¼®Çϱâ À§ÇØ Çѹ̰¨Á¤¿ø¿¡¼ ÀÚü Á¦ÀÛÇÑ ±ØÃÊÀú¿Â(¿µÇÏ 265¡É) PL ½Ã½ºÅÛÀ» »ç¿ëÇÏ¿´´Ù. º» ¿¬±¸¿¡¼´Â ´ÙÀ̾Ƹóµå ³» °áÇÔ¼¾ÅÍÀÇ Á¸Àç ¹× º¯ÈÀÇ Æ¯Â¡À» °üÂûÇϱâ À§ÇØ 2.54eV (488nm)ÀÇ ±¤¿øÀ» »ç¿ëÇÏ¿´´Ù. ¿¡³ÊÁö°¡ ´õ¿í ³·Àº ´Ù¾çÇÑ °áÇÔ¼¾ÅÍÀÇ ÃøÁ¤À» À§ÇØ 2.41eV (514.5nm)ÀÇ ±¤¿øÀ» °âÇÏ¿© »ç¿ëÇÏ¿´´Ù. »ó¿Â¿¡¼´Â ¿Àû ¿äÀο¡ ÀÇÇØ ¹Ì¼¼ÇÑ °áÇÔ ÁØÀ§¸¦ ã±â ¾î·Æ±â ¶§¹®¿¡ ¾×ü Çï·ý Æó¼âȸ·Î ³Ã°¢±â(LHe closed cycle refrigerator system, CCR)¸¦ °¡µ¿ÇÏ¿© ¿µÇÏ 265¡É¿¡¼ ½ÇÇèÇÏ¿´´Ù.
Àڿܼ± Çü±¤°ú Àα¤ ¹ÝÀÀ
Àڿܼ± Çü±¤ ¹ÝÀÀ ÃøÁ¤ °á°ú 4°³ÀÇ NDT ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå Áß 1°³ÀÇ »ùÇÿ¡¼ Àڿܼ± ÀåÆÄ(365nm) º¸´Ù Àڿܼ± ´ÜÆÄ(254nm)¿¡¼ º¸´Ù °ÇÑ ¹ÝÀÀÀ» º¸¿´°í ³ª¸ÓÁö »ùÇÿ¡¼´Â Àڿܼ± ´ÜÆÄ¿¡¼¸¸ ¹ÝÀÀÇÏ¿´´Ù (Ç¥1). Àα¤ ¹ÝÀÀÀº 4°³ »ùÇà ¸ðµÎ¿¡¼ °üÂûµÇ¾ú´Ù (Ç¥2). ÀϹÝÀûÀ¸·Î õ¿¬ ´ÙÀ̾Ƹóµå´Â Àڿܼ± ´ÜÆĺ¸´Ù ÀåÆÄ¿¡¼ º¸´Ù °ÇÑ ¹ÝÀÀÀ» º¸À̸ç, Àα¤ ¹ÝÀÀÀº õ¿¬ ´ÙÀ̾Ƹóµå¿¡¼ °ÅÀÇ ¹ß°ßµÇÁö ¾Ê´Â´Ù.
Àڿܼ± Çü±¤ ¹ÝÀÀ ÃøÁ¤ °á°ú 4°³ÀÇ NDT ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå Áß 1°³ÀÇ »ùÇÿ¡¼ Àڿܼ± ÀåÆÄ(365nm) º¸´Ù Àڿܼ± ´ÜÆÄ(254nm)¿¡¼ º¸´Ù °ÇÑ ¹ÝÀÀÀ» º¸¿´°í ³ª¸ÓÁö »ùÇÿ¡¼´Â Àڿܼ± ´ÜÆÄ¿¡¼¸¸ ¹ÝÀÀÇÏ¿´´Ù (Ç¥1). Àα¤ ¹ÝÀÀÀº 4°³ »ùÇà ¸ðµÎ¿¡¼ °üÂûµÇ¾ú´Ù (Ç¥2). ÀϹÝÀûÀ¸·Î õ¿¬ ´ÙÀ̾Ƹóµå´Â Àڿܼ± ´ÜÆĺ¸´Ù ÀåÆÄ¿¡¼ º¸´Ù °ÇÑ ¹ÝÀÀÀ» º¸À̸ç, Àα¤ ¹ÝÀÀÀº õ¿¬ ´ÙÀ̾Ƹóµå¿¡¼ °ÅÀÇ ¹ß°ßµÇÁö ¾Ê´Â´Ù.
´ÙÀ̾Ƹóµå ŸÀÔ°ú Àü±â Àüµµ¼º
±ÙÀû¿Ü¼±, ÁßÀû¿Ü¼± ¿µ¿ªÀÇ Èí¼ö ½ºÆåÆ®·³À» °üÂûÇÏ¸é ´ÙÀ̾Ƹóµå ³»ÀÇ Áú¼Ò(N), ºØ¼Ò(B), ¼ö¼Ò(H) °áÇÔ Æ¯¼º Á¸Àç ¿©ºÎ¸¦ ¾Ë ¼ö ÀÖ´Ù. ƯÈ÷ ÁßÀû¿Ü¼± ¿µ¿ª¿¡¼ Áú¼Ò °áÇÔ ¹× ºØ¼Ò °áÇÔ°ú °ü·ÃÇÏ¿© ´ÙÀ̾ƸóµåÀÇ Å¸ÀÔÀ» ºÐ·ù ÇÒ ¼ö Àִµ¥, Áú¼Ò °áÇÔÀÌ Á¸ÀçÇϸé type¥°, Áú¼Ò °áÇÔÀÌ Á¸ÀçÇÏÁö ¾ÊÀ¸¸é type¥±·Î ºÐ·ùÇÑ´Ù.
±ÙÀû¿Ü¼±, ÁßÀû¿Ü¼± ¿µ¿ªÀÇ Èí¼ö ½ºÆåÆ®·³À» °üÂûÇÏ¸é ´ÙÀ̾Ƹóµå ³»ÀÇ Áú¼Ò(N), ºØ¼Ò(B), ¼ö¼Ò(H) °áÇÔ Æ¯¼º Á¸Àç ¿©ºÎ¸¦ ¾Ë ¼ö ÀÖ´Ù. ƯÈ÷ ÁßÀû¿Ü¼± ¿µ¿ª¿¡¼ Áú¼Ò °áÇÔ ¹× ºØ¼Ò °áÇÔ°ú °ü·ÃÇÏ¿© ´ÙÀ̾ƸóµåÀÇ Å¸ÀÔÀ» ºÐ·ù ÇÒ ¼ö Àִµ¥, Áú¼Ò °áÇÔÀÌ Á¸ÀçÇϸé type¥°, Áú¼Ò °áÇÔÀÌ Á¸ÀçÇÏÁö ¾ÊÀ¸¸é type¥±·Î ºÐ·ùÇÑ´Ù.
Áú¼Ò °áÇÔÀÌ Á¸ÀçÇÏÁö ¾ÊÀ¸¸ç ºØ¼Ò °áÇÔÀÌ Á¸ÀçÇÒ ¶§´Â type¥±b·Î ºÐ·ùµÈ´Ù. õ¿¬ ´ÙÀ̾ƸóµåÀÇ ´ëºÎºÐ(¾à 98%)¿¡ Á¸ÀçÇÏ´Â Áú¼Ò ºÒ¼ø¹°Àº ÁßÀû¿Ü¼± ¿µ¿ªÀÇ 1,100~1,500cm-1¿¡¼ Èí¼ö½ºÆåÆ®·³ÀÌ ³ªÅ¸³ª¸ç Áú¼Ò °áÇÔÀÇ Á¾·ù¿¡ µû¶ó Èí¼öµÇ´Â ¾ç»óµµ ´Ù¸£´Ù.
°í¿Â°í¾Ð ¹æ¹ýÀ¸·Î ÇÕ¼ºµÈ ´ÙÀ̾Ƹóµå´Â ´ëºÎºÐ Áú¼Ò °áÇÔÀÌ °í¸³µÇ¾î Á¸Àç(ź¼Ò ¿øÀÚ »çÀÌ¿¡ Áú¼Ò ¿øÀÚ°¡ Çϳª¾¿ ¹è¿µÈ »óŸ¦ ÀǹÌÇÑ´Ù)ÇÏ´Â type¥°b ´ÙÀ̾ƸóµåÀÌÁö¸¸, °áÁ¤¼ºÀå Áß¿¡ Áú¼Ò ºÒ¼ø¹°ÀÇ È¥ÀÔÀ» ¸·¾Æ type¥±a ´ÙÀ̾Ƹóµå¸¦ Á¦Á¶Çϰųª ºØ¼Ò¸¦ È¥ÀÔÇÏ¿© type¥±b ´ÙÀ̾Ƹóµå·Î ÇÕ¼ºÇϱ⵵ ÇÑ´Ù.
õ¿¬ ´ÙÀ̾Ƹóµå¿¡¼µµ type¥±b ´ÙÀ̾Ƹóµå´Â Á¸ÀçÇϸç, À̶§ ´ÙÀ̾Ƹóµå ³»¿¡ Á¸ÀçÇÏ´Â ºØ¼Ò °áÇÔÀ¸·Î ÀÎÇØ Àü±â Àüµµ¼º(electrical conductivity)À» °®´Â´Ù. NDT¿¡¼ ÇÕ¼ºµÈ 4°³ÀÇ ´ÙÀ̾Ƹóµåµµ õ¿¬ ´ÙÀ̾Ƹóµå¿Í °°ÀÌ Àü±â Àüµµ¼ºÀ» °¡Áö°í ÀÖ¾úÀ¸¸ç ÃøÁ¤ÇÑ °á°ú¸¦ Ç¥2¿¡ ³ªÅ¸³»¾ú´Ù. Àü±â Àüµµ¼ºÀº Æҽà ºí·ç ´ÙÀ̾Ƹóµå¿¡¼ ³ô°Ô ÃøÁ¤µÇ¾ú´Ù.
ºØ¼Ò·Î ÀÎÇØ »öÀ» ¶ì´Â ºí·ç ´ÙÀ̾Ƹóµå
º» ¿¬±¸¿¡¼ ÃøÁ¤µÈ NDTÀÇ 4°³ÀÇ ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå´Â ¸ðµÎ Áú¼Ò ¼ººÐÀÌ °ÅÀÇ ¾ø°í ºØ¼Ò ¼ººÐÀÌ Á¸ÀçÇÏ´Â type¥±b ´ÙÀ̾Ƹóµå·Î µå·¯³µ´Ù.
º» ¿¬±¸¿¡¼ ÃøÁ¤µÈ NDTÀÇ 4°³ÀÇ ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå´Â ¸ðµÎ Áú¼Ò ¼ººÐÀÌ °ÅÀÇ ¾ø°í ºØ¼Ò ¼ººÐÀÌ Á¸ÀçÇÏ´Â type¥±b ´ÙÀ̾Ƹóµå·Î µå·¯³µ´Ù.
±×¸²4ÀÇ Àû¿Ü¼± ½ºÆåÆ®·³¿¡¼ º¼ ¼ö ÀÖµíÀÌ, 2928, 2802, 2455 cm-1¿¡¼ ³ªÅ¸³ª´Â ¹êµå´Â ºØ¼Ò ¿øÀÚÀÇ ÀüÀÌ°¡ ¿øÀÎÀÌ µÇ¾î ³ªÅ¸³´Ù. ¶§¹®¿¡ ÀÌµé ¹êµåÀÇ Á¸Àç´Â type¥±b ´ÙÀ̾ƸóµåÀÇ Áß¿äÇÑ Áõ°ÅÀÌ´Ù. ´õºÒ¾î 1332 cm-1¿¡¼µµ ¹êµå°¡ Á¸ÀçÇϴµ¥ ÀÌ´Â ºØ¼Ò ¿øÀÚ¿¡ ÀÇÇÑ °ÝÀÚÁøµ¿À¸·Î ÀÎÇØ ³ªÅ¸³ª¸ç 2928, 2802, 2455 cm-1ÀÇ ¹êµå°¡ Á¸ÀçÇÏ´Â °æ¿ì 1332 cm-1 ¹êµå´Â ¹Ýµå½Ã ¹ß°ßµÈ´Ù. ƯÈ÷ 2928°ú 2455, 1332 cm-1 ¹êµå´Â Æҽà ºí·ç Ä÷¯¸¦ °¡Áö°í ÀÖ´Â »ùÇÃ(NDT_S03, S04)¿¡¼ ´õ µÎµå·¯Áö´Â °æÇâÀ» º¸¿´´Ù. ÀÌ´Â ºØ¼Ò¿Í °ü·ÃµÈ °ÝÀÚÁøµ¿ÀÌ µÎµå·¯Áú¼ö·Ï ºí·ç Ä÷¯ÀÇ Ã¤µµ°¡ Áõ°¡ÇÔÀ» ÀǹÌÇÑ´Ù.
¶ÇÇÑ °ÅÀÇ ¹«»ö¿¡ °¡±î¿ü´ø NDT_S01°ú NDT_S02 »ùÇÿ¡¼ ºØ¼Ò¿Í °ü·ÃµÈ ¹êµå°¡ Á¸ÀçÇÑ °ÍÀº ´ÙÀ̾Ƹóµå ¼ºÀå°úÁ¤ Áß ¼Ò·®ÀÇ ºØ¼Ò¸¦ È¥ÀÔÇÔÀ¸·Î °ÅÀÇ ¹«»ö¿¡ °¡±õ°Ô º¸ÀÌ°Ô Çϱâ À§ÇÑ Àǵµ°¡ ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î ¿©°ÜÁø´Ù. ¿¹·ÎºÎÅÍ ÄÚÆà 󸮿¡¼µµ ¹«»ö¿¡ °¡±õ°Ô º¸ÀÌ°Ô Çϱâ À§ÇØ ºí·ç ÄÚÆÃÀ» ÇÏ´Â °æ¿ì°¡ Á¾Á¾ ÀÖ¾ú´Âµ¥, ÀÌ´Â º¸»ö¿¡ ÀÇÇÑ Âø½Ã È¿°ú¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ °ÍÀÌ´Ù.
NDT ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå ³»¿¡ Á¸ÀçÇÏ´Â ¿øÀÚ ·¹º§ °áÇÔÀÇ Æ¯¼º
±×¸²5´Â 514.5(green laser)¿Í 488(blue laser)¿¡¼ ¿©±âµÈ ¿¡³ÊÁö¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© ¾ò¾îÁø NDT ÇÕ¼º ´ÙÀ̾ƸóµåÀÇ PL ½ºÆåÆ®·³ÀÌ´Ù. 503.2nmÀÇ H3 ¼¾ÅÍ¿Í 574.8nmÀÇ (N-V)0¿¡¼¸¸ ¸Å¿ì ¾àÇÑ Å©±âÀÇ PL Ư¼ºÀÌ Á¸ÀçÇÒ »Ó, ÀϹÝÀûÀ¸·Î õ¿¬ ´ÙÀ̾Ƹóµå¿¡¼ º¼ ¼ö ÀÖ´Â 3H, H4, GR1 ¼¾ÅÍ¿Í °°Àº ´Ù¾çÇÑ °áÇÔ ¼¾ÅÍ´Â ¹ß°ßµÇÁö ¾Ê¾Ò´Ù.
±×¸²5´Â 514.5(green laser)¿Í 488(blue laser)¿¡¼ ¿©±âµÈ ¿¡³ÊÁö¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© ¾ò¾îÁø NDT ÇÕ¼º ´ÙÀ̾ƸóµåÀÇ PL ½ºÆåÆ®·³ÀÌ´Ù. 503.2nmÀÇ H3 ¼¾ÅÍ¿Í 574.8nmÀÇ (N-V)0¿¡¼¸¸ ¸Å¿ì ¾àÇÑ Å©±âÀÇ PL Ư¼ºÀÌ Á¸ÀçÇÒ »Ó, ÀϹÝÀûÀ¸·Î õ¿¬ ´ÙÀ̾Ƹóµå¿¡¼ º¼ ¼ö ÀÖ´Â 3H, H4, GR1 ¼¾ÅÍ¿Í °°Àº ´Ù¾çÇÑ °áÇÔ ¼¾ÅÍ´Â ¹ß°ßµÇÁö ¾Ê¾Ò´Ù.
Çѹ̰¨Á¤¿ø ¿¬±¸¼ÒÀÇ ºÐ¼®¿¡ ÀÇÇϸé õ¿¬ type¥±a ´ÙÀ̾Ƹóµå¿¡¼ H3 ¼¾ÅÍ´Â Áß°£ ÀÌ»óÀÇ Å©±â·Î ¾à 98% È®·ü·Î ¹ß°ßµÊÀ» ¹àÇô ÇØ¿Ü ÇÐȸ¿¡¼ °ËÁõ ¹ÞÀº ¹Ù ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ ÇÊÀÚÀÇ °æÇèÀ¸·Î º¼ ¶§ õ¿¬ ´ÙÀ̾Ƹóµå¿¡¼ H3 ¼¾ÅÍ°¡ ¾àÇÏ°Ô Á¸ÀçÇÏ´Â °æ¿ì´Â ±ØÈ÷ µå¹°´Ù. µû¶ó¼ PL Ư¼º¿¡¼ ¸Å¿ì ¾àÇÑ H3 ¼¾Å͸¦ °¡Áø °æ¿ì´Â ÇÕ¼º ´ÙÀ̾ƸóµåÀÇ Â¡ÈÄ·Î ¿©°Üµµ ¹«¹æÇÒ µíÇÏ´Ù.
½Ç¸®ÄÜ(Si)°ú °ü·ÃµÈ °áÇÔÀÇ ¹ß°ß
4°³Áß 1°³ÀÇ »ùÇÃ(NDT_S01)¿¡¼ H3, (N-V)0¼¾ÅÍ¿Í ´õºÒ¾î 737nm¿¡¼ (Si-V)-¿Í °ü·ÃµÈ °áÇÔÀÌ ¹ß°ßµÇ¾ú´Ù(±×¸²6). (Si-V)-¿Í °ü·ÃµÈ °áÇÔÀº ±âÁ¸¿¡ ¹ßÇ¥µÈ ´ëºÎºÐÀÇ CVD ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå¿¡¼ ¹ß°ßµÈ´Ù°í ¾Ë·ÁÁø ¹Ù ÀÖ´Ù. °£È¤ õ¿¬ ´ÙÀ̾Ƹóµå¿¡¼ ¹ß°ßµÇ¾ú´Ù´Â º¸°íµµ ÀÖÁö¸¸ ±ØÈ÷ µå¹°°Ô ¹ß°ßµÇ±â¿¡ (Si-V)-¿Í °ü·ÃµÈ °áÇÔÀÌ ¹ß°ßµÈ´Ù¸é ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå °¡´É¼ºÀÌ ÀÖÀ½À» ÀÎÁöÇØ¾ß ÇÑ´Ù.
4°³Áß 1°³ÀÇ »ùÇÃ(NDT_S01)¿¡¼ H3, (N-V)0¼¾ÅÍ¿Í ´õºÒ¾î 737nm¿¡¼ (Si-V)-¿Í °ü·ÃµÈ °áÇÔÀÌ ¹ß°ßµÇ¾ú´Ù(±×¸²6). (Si-V)-¿Í °ü·ÃµÈ °áÇÔÀº ±âÁ¸¿¡ ¹ßÇ¥µÈ ´ëºÎºÐÀÇ CVD ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå¿¡¼ ¹ß°ßµÈ´Ù°í ¾Ë·ÁÁø ¹Ù ÀÖ´Ù. °£È¤ õ¿¬ ´ÙÀ̾Ƹóµå¿¡¼ ¹ß°ßµÇ¾ú´Ù´Â º¸°íµµ ÀÖÁö¸¸ ±ØÈ÷ µå¹°°Ô ¹ß°ßµÇ±â¿¡ (Si-V)-¿Í °ü·ÃµÈ °áÇÔÀÌ ¹ß°ßµÈ´Ù¸é ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå °¡´É¼ºÀÌ ÀÖÀ½À» ÀÎÁöÇØ¾ß ÇÑ´Ù.
õ¿¬ ´ÙÀ̾Ƹóµå¿¡¼µµ ±×·¸Áö¸¸ HPHT ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå¿¡¼ (Si-V)-¿Í °ü·ÃµÈ °áÇÔÀÌ ¹ß°ßµÇ¾ú´Ù´Â º¸°í ¶ÇÇÑ µå¹°´Ù. CVD ÇÕ¼º ´ÙÀ̾ƸóµåÀÇ °æ¿ì (Si-V)-ÀÇ °áÇÔÀº Si À©µµ¿ì¿Í °°Àº ¼ºÀå ¹ÝÀÀ±â ³»ÀÇ Si¿Í °ü·ÃµÈ ºÎºÐÀÌ ¿¡ÄªµÇ¸ç »ý¼ºµÇµíÀÌ NDTÀÇ ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå¿¡¼ÀÇ (Si-V)-ÀÇ °áÇÔ ¶ÇÇÑ ¼ºÀå ¹ÝÀÀ±â ³»ÀÇ Si¿Í °ü·ÃµÈ ºÎºÐÀÇ ¿¡Äª°ú °ü·ÃÀÌ ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î ¿©°ÜÁø´Ù.
°á·Ð
º¸¼®¿ë ÇÕ¼º ´ÙÀ̾ƸóµåÀÇ ¼ºÀå ±â¼úÀº ÇöÀç ºñ¾àÀûÀÎ ¹ßÀüÀ» ÀÌ·ç°í ÀÖ´Ù. ¶§¹®¿¡ ÀϹÝÀûÀÎ º¸¼®ÇÐÀû °Ë»çµé·Î »õ·Ó°Ô °³¹ßµÇ´Â ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå¸¦ ±¸º°ÇØ ³»´Â °ÍÀº ½Ã°£ÀÌ Áö³¯¼ö·Ï ´õ¿í ¾î·Á¿öÁö°í ÀÖ´Ù. ¼ºÀå ±â¼úÀÌ ¹ßÀüÇÏ°í »õ·Î¿î ±â¹ýÀÌ µîÀåÇÒ ¶§ ¸¶´Ù ³ªÅ¸³ª´Â ºÐ±¤ÇÐÀû Ư¼ºµµ ´Ù¾çÇÏ°Ô ¹ß°ßµÈ´Ù. ±×·³¿¡µµ ºÒ±¸ÇÏ°í PL°ú °°Àº ºÐ±¤ÇÐÀû °Ë»ç´Â õ¿¬ ´ÙÀ̾Ƹóµå¿Í ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå¸¦ ½Äº° °¡´ÉÇÏ°Ô ÇÑ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ÀÌÀ¯·Î ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå ºÐ¼® °á°ú¸¦ Áö¸éÀ» ÅëÇØ °øÀ¯ÇÏ´Â °ÍÀº ±¹³» ´ÙÀ̾Ƹóµå ¿¬±¸ ¹× õ¿¬ ´ÙÀ̾Ƹóµå ½ÃÀå ¼öÈ£¿¡ Å« ÀÇÀÇ°¡ ÀÖ´Ù°í º»´Ù.
º¸¼®¿ë ÇÕ¼º ´ÙÀ̾ƸóµåÀÇ ¼ºÀå ±â¼úÀº ÇöÀç ºñ¾àÀûÀÎ ¹ßÀüÀ» ÀÌ·ç°í ÀÖ´Ù. ¶§¹®¿¡ ÀϹÝÀûÀÎ º¸¼®ÇÐÀû °Ë»çµé·Î »õ·Ó°Ô °³¹ßµÇ´Â ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå¸¦ ±¸º°ÇØ ³»´Â °ÍÀº ½Ã°£ÀÌ Áö³¯¼ö·Ï ´õ¿í ¾î·Á¿öÁö°í ÀÖ´Ù. ¼ºÀå ±â¼úÀÌ ¹ßÀüÇÏ°í »õ·Î¿î ±â¹ýÀÌ µîÀåÇÒ ¶§ ¸¶´Ù ³ªÅ¸³ª´Â ºÐ±¤ÇÐÀû Ư¼ºµµ ´Ù¾çÇÏ°Ô ¹ß°ßµÈ´Ù. ±×·³¿¡µµ ºÒ±¸ÇÏ°í PL°ú °°Àº ºÐ±¤ÇÐÀû °Ë»ç´Â õ¿¬ ´ÙÀ̾Ƹóµå¿Í ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå¸¦ ½Äº° °¡´ÉÇÏ°Ô ÇÑ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ÀÌÀ¯·Î ÇÕ¼º ´ÙÀ̾Ƹóµå ºÐ¼® °á°ú¸¦ Áö¸éÀ» ÅëÇØ °øÀ¯ÇÏ´Â °ÍÀº ±¹³» ´ÙÀ̾Ƹóµå ¿¬±¸ ¹× õ¿¬ ´ÙÀ̾Ƹóµå ½ÃÀå ¼öÈ£¿¡ Å« ÀÇÀÇ°¡ ÀÖ´Ù°í º»´Ù.